一、覆膜設備的概念界限
覆膜設備這個稱號如同把汽車都喊成‘帶輪子的設備’——雖然算不上全錯,但丟了重要特點。真正意義上覆亞膜設備主要是指物相沉積(PVD)、干法刻蝕(CVD)這種根據氣體或等離子產生薄膜的設備。而電鍍設備是由電解反應讓重金屬離子附著在基材表面,兩者在原理上如同做饅頭和煎餃的差別:盡管都是面點,但烹調方法完全不一樣。
二、電鍍設備的更優質通稱
給單晶硅片電鍍工藝和機械電鍍設備找‘一同呢稱’,比不上按加工工藝特性分類更:
電解法堆積設備:注重通過電流推動重金屬離子沉積的實質
表層鍍覆設備:突顯在基材表面產生金屬材料層的功效
濕法設備:有別于氣相沉積的物質解決特點
這類歸類既可以反映技術特征,又避免了與真空電鍍等干法工藝搞混。
三、選好名字的三大益處
的設備叫法就像給專用工具貼上標簽,能夠帶來出乎意料的便捷:
行業交流更有效:說‘電解法堆積’技術工程師馬上搞清楚需要準備鋰電池電解液;
購置更準確:防止把化學鍍鎳設備費用預算錯劃到物相沉積類型;
工藝改進更清楚:區別濕式/干法工藝有利于開發設計混合所有制程計劃方案。
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